Dressler-Advanced Energy Cesar 136 13.56 Mhz 600 W Rf Plasma Jeneratörü

Dressler / Advanced Energy CESAR 136 13.56 MHz 600 W RF Plasma Jeneratörü Teknik Özellikleri

• Marka: Dressler / Advanced Energy
• Model: CESAR 136
• Ürün Tipi: RF Power Generator / RF Plasma Jeneratörü
• Çalışma Frekansı: 13.56 MHz ±0.005%
• Maksimum RF Çıkış Gücü: 600 W
• Minimum RF Çıkış Gücü: 6 W (%1); daha düşük güçte çalışabilir ancak doğruluk garanti edilmez
• RF Çıkış Empedansı: 50 Ω
• Maksimum Yansıyan Güç: 200 W
• Uyumsuz Yüke Aktarılabilen Güç: Nominal gücün %33'ü
• RF Güç Regülasyonu: Set değerinin %1'i veya tam gücün %0.1'i; hangisi büyükse
• RF Güç Stabilitesi: Set değerinin %1'i veya tam gücün %0.2'si; hangisi büyükse
• RF Pulse Frekansı: 1 Hz–30 kHz
• RF Pulse Duty Cycle: %1–99
• Tipik Verim: %65 (tam nominal güç, nominal şebeke ve 50 Ω yükte)
• AC Besleme: 230 VAC (187–253 VAC), tek faz, 50–60 Hz
• RF Çıkış Konnektörü: N-Type dişi
• Kontrol Arayüzleri: Analog User Port, RS-232; cihaz konfigürasyonuna göre PROFIBUS veya Ethernet/Modbus TCP seçenekleri
• Matching Arayüzü: 15-pin D-Sub dişi, VarioMatch/Navio veya elektriksel olarak uyumlu matching network kontrolü
• Ekran: Grafik LCD
• Soğutma: Hava soğutmalı, minimum 118 m³/h (69.45 CFM)
• Çalışma Sıcaklığı: +5 °C – +35 °C
• Boyutlar: 88 × 483 × 500 mm
• Ağırlık: 19.2 kg
• Kasa Tipi: 19" rack mount
• Kullanım Alanları: Sputtering, Reactive Ion Etching (RIE), RF Bias, plazma polimerizasyonu, plazma yüzey işlemleri ve CO₂ lazer sistemleri